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液化三氟化氮有什么危害？

來(lái)源：www.yqzxkj.com 發(fā)布時(shí)間：2022年12月10日
  液化三氟化氮化學(xué)式NF?，在常溫下是一種無(wú)色、無(wú)臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，是一種強(qiáng)氧化劑。液化三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子，這些氟離子對(duì)硅和鎢化合物，高純液化三氟化氮具有好的蝕刻速率和選擇性（對(duì)氧化硅和硅），它在蝕刻時(shí)，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運(yùn)用。
  液化三氟化氮
  液化三氟化氮是低毒性物質(zhì)，但是它能強(qiáng)烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜，腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長(zhǎng)期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼，使牙齒生黃斑，骨骼成畸形。具有強(qiáng)氧化性。與還原劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)，引起燃燒爆炸。與易燃物(如苯)和有機(jī)物(如糖、纖維素等)接觸會(huì)發(fā)生劇烈反應(yīng)，甚至引起燃燒。受高熱發(fā)生劇烈分解，甚至發(fā)生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小時(shí)末見(jiàn)死亡，但出現(xiàn)高鐵血紅蛋白血癥，當(dāng)吸入10000ppm·l小時(shí)有死亡，在2500ppm時(shí)吸入毒后4小時(shí)死亡。高容許濃度：10ppm(29mg/m3)。
  
  如何才能不超過(guò)這個(gè)10ppm濃度限制呢？就需要用到液化三氟化氮檢測(cè)儀，使用液化三氟化氮?dú)怏w濃度檢測(cè)儀可以檢測(cè)其濃度，固定式液化三氟化氮檢測(cè)儀安裝于氣體易泄露的地點(diǎn)，其核心部件為氣體傳感器，當(dāng)液化三氟化氮泄露后揮發(fā)出來(lái)的氣體傳感器接觸反應(yīng)，固定式液化三氟化氮監(jiān)測(cè)儀便會(huì)啟動(dòng)自身的報(bào)警功能聲光報(bào)警，警醒工作人員。
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